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　　SEM全稱Scanning Electron Microscope，即掃描電鏡，是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。想要了解SEM表征檢測主要檢測的什么，需要先了解SEM，如SEM掃描電鏡的工作原理，其主要檢測哪些內(nèi)容，檢測的樣品是哪些，樣品分別都有什么需求。

　　SEM檢測的工作原理

　　SEM掃描電鏡是一種介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀觀察手段，能夠直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能來進行微觀成像。其原理是當具有一定能力的電子束轟擊樣品表面的時候，電子與物質(zhì)元素的原子核以及外層的電子產(chǎn)生了單次或者多次的碰撞，一些電子反射出樣品的表面，而一部分則滲入樣品中，被樣品所吸收。在該過程當中，大部分的電子能量會轉(zhuǎn)換成樣品熱能，而剩下的則會在其中激發(fā)出各種信號。

　　SEM表征檢測的應(yīng)用范圍

　　SEM表征檢測可應(yīng)用于微觀形貌、顆粒尺寸、微區(qū)組成、元素分布、元素價態(tài)和化學鍵、晶體結(jié)構(gòu)、相組成、結(jié)構(gòu)缺陷、晶界結(jié)構(gòu)和組成等。SEM一般通過組合EDS使用，可利用EDS進行元素成分定性、定量分析。用來觀測芯片內(nèi)部層次和測量各層厚度、觀測并拍攝局部異常照片和測量異常尺寸、測量芯片關(guān)鍵尺寸線寬和孔徑、定性和定量分析異常污染物的化學元素組成。

　　SEM樣品的要求

　　1、粉末樣品基本要求

　　（1）單顆粉末尺寸最好小于1μm；

　　（2）無磁性；

　　（3）以無機成分為主，否則會造成電鏡嚴重的污染，高壓跳掉，甚至擊壞高壓槍；

　　2、塊狀樣品基本要求

　　（1）需要電解減薄或離子減薄，獲得幾十納米的薄區(qū)才能觀察；

　　（2）如晶粒尺寸小于1μm，也可用破碎等機械方法制成粉末來觀察；

　　（3）無磁性。

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